蓝宝石抛光液由哪些成分组成?

2026-03-06


蓝宝石抛光液属于纳米级 CMP 抛光浆料,一般由这 4 类核心成分组成:
  1. 磨料(核心)
    纳米二氧化硅(硅溶胶) 为主,也可用纳米氧化铝、氧化铈、金刚石等,负责对蓝宝石进行微量磨削,决定抛光效率与光洁度。
  2. 分散介质
    主要是去离子水,保证浆料均匀、不沉淀、不团聚。
  3. pH 调节剂
    调控体系酸碱度,强化化学腐蚀 + 机械研磨协同作用,提升去除率与表面质量。
  4. 功能助剂
    包括分散剂、稳定剂、润滑剂、防锈剂等,用于:
    • 稳定悬浮、防止颗粒团聚
    • 减少划伤、降低亚表面损伤
    • 易清洗、不残留、保护设备


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